2019年除瞭(le)5G技術，柔性可折疊屏幕也成爲今年手機行業的熱門話題。近日，手機廠商三星、華爲先後分别發布瞭(le)Galaxy Fold、HUAWEI Mate X折疊屏手機，而柔宇科技和小米先後展示瞭(le)正在研發的可折疊手機真機。另一邊，OPPO與華爲則顯得更加含蓄，二者表示把可折疊手機均保留在MWC 2019（世界移動大會）上發布。蘋果雖然沒有直接“參戰”，但也一直暗自在布局可折疊手機的相關技術。據CNET報道
，蘋果日前再一次更新瞭(le)一項關於(yú)可折疊iPhone的專利
，它展示瞭(le)使用折疊屏幕的各種方式……

折疊手機

折疊手機的出現，打破瞭(le)手機和平闆的界限，同時還支持5G應用，這也标志著(zhe)電子信息産業的裏程碑式變革到來。折疊屏手機新性能對生産加工工藝也産生瞭(le)更高的要求。其中，約70%的手機加工鏈和制造環節都用到瞭(le)多種不同的激光工藝。 

在柔性OLED生産過程中，激光加工對各段制程起著(zhe)至關重要的作用，並(bìng)且激光以其靈活高效成爲柔性化生産線的首選。目前，柔性屏及各種可穿戴電子已經成瞭消費電子行業的趨勢之一，柔性材料的多層結構，使得加工柔性材料成瞭高精尖的難題。随著(zhe)超快激光技術的成熟、成本的降低，使其激發在加工柔性材料中的應用潛力。 

柔性顯示面闆生産中的激光剝離工藝

在柔性幕方面，LLO激光取下技術是将柔性PI基底和玻璃背闆剝(bō)離的關鍵工序。在OLED全制程中，激光修複(fù)技術可以有效提高面闆制造良率。以上這些，都是激光技術在OLED面闆制造中的應用。

柔性顯示面闆或超薄半導體晶片批量生産的常規方法爲：先在塗覆聚合物的剛性玻璃載體上刻寫電路，並(bìng)在最終工藝步驟中将器件從載體上剝(bō)離。其技術方案爲——将紫外準分子激光器的線光束透過玻璃基闆載體，照射在聚合物層上。 

由於(yú)激光的波長很短，材料對激光的吸收率很高，隻有緊鄰玻璃基闆的聚合物被蒸發，從而實現瞭(le)基闆與器件的分離。採用308nm準分子激光器進行激光剝離時，激光脈寬約爲25ns，需要的能量密度約爲200J/cm2。此外，由於(yú)激光波長較短，吸收率很高，剝離過程中無需制備額外的過渡層來增強激光吸收。

激光剝離工藝是更好的選擇

實踐證明，許多常規的剛性載體分離技術並(bìng)不适合用於(yú)規模化生産。例如，機械剝離技術和化學蝕刻工藝，其生産效率低，局限性大，而且生産良率也不高。甚至，後一種方法還會對環境産生危害。

相比之下，激光剝離工藝則是更好的選擇。爲瞭(le)将激光吸收限制在聚合物與玻璃載體界面附近，該工藝要求使用波長盡量短的激光(波長短於(yú)350nm)。由於(yú)準分子激光器具有波長短(激光剝離工藝中常用的是308nm以及248nm)、能量和功率高的特點，因此在精密微電子器件生産中，採用準分子激光器進行激光剝離，不僅良率高，而且産量大，完全可以滿足微電子市場的批量化生産需求。

事實上，短波長準分子激光器系統配合高質量的線光束光學器件，對於(yú)批量化生産而言是至關重要的：激光剝(bō)離技術通常用於(yú)高價值元器件的制備;激光剝(bō)離工藝位於(yú)一系列高成本工藝步驟之後;激光剝(bō)離工藝是許多高價值元器件和相應的零部件制備的核心技術;在柔性屏的制備中
，激光剝(bō)離工藝1% 的不良率，就會造成每年高達數百萬美元的利潤損失。

柔性屏激光切割工藝技術

折疊屏手機從原來一塊玻璃屏幕變成瞭(le)兩塊玻璃屏幕，玻璃的用量翻瞭(le)一倍。採用傳統的機加方式切割玻璃容易發生崩邊、裂紋等問題。相較之下，激光切割工藝採用非接觸式加工方式，适用於(yú)薄玻璃及超薄玻璃加工，具備可實現異形切割，具有切割邊緣崩邊小、精度高等優點，且大幅提高瞭(le)工件良率及加工效率。 

随著(zhe)OLED柔性顯示技術大勢已定，越來越多的激光企業開(kāi)始布局新戰略：

據瞭(le)解，相幹公司推出瞭(le)新一代具有高脈沖(chōng)重複頻率的超短脈沖(chōng)激光器HyperRapid NX，可在最高1,600 kHz的重複頻率下提供30W的紫外光平均功率，從而成爲OLED切割應用的标杆。

大族顯示與半導體自主研發的國内首台柔性OLED激光切割設備在6月正式投産，這款設備集分切、倒角、檢測於(yú)一體，主要應用於(yú)OLED高分子聚合材料的激光切割，推動瞭(le)柔性顯示技術的快速發展。

華工激光研發瞭(le)一款OLED面闆玻璃異形全自動切割機配有皮秒激光器，專爲OLED面闆的快速切割而開發，並(bìng)集成自動化光學檢測/超聲波裂片等工藝，适用於批量化生産。

結語：随著(zhe)手機行業發展需求不斷變化，激光加技術爲适應變化也在面臨著(zhe)更新升級。由於(yú)柔性屏生産工藝中大量使用固體激光器（DPSS），未來幾年國内新建柔性屏生産線的投入将達 3000 億元，這将産生大量新增固體激光器需求，同時也激發著(zhe)激光在柔性屏制造中的應用潛力。